电子制造业包括电子设备(计算机、电视、通讯设备、电子控制、电子仪器等)、电子元件(电阻、电容、电感器、印刷线路板等)、电气器件(接插元件、电子管、晶体管、集成电路等)以及其专用原材料(高频磁性材料、高频绝缘材料、半导体材料等)的工业生产企业。
以上这些电子行业的生产工艺对环境洁净度有不同程度的要求,从洁净度100级、1000级到万级、十万级的电子无尘车间都有广泛的应用,主要控制粒径0.1-0.5UM的尘埃及细菌污染物,例如线路板PCB生产的照相、制版、SMT、干膜车间,芯片生产的蚀刻、离子注入、CMP车间;封装企业的划片、键合车间;电子仪器微电子的装配车间;半导体材料生产的拉单晶、清洗、外延车间;液晶显示器生产的陈列板、成盒、STN-LCD车间;锂电子生产的干工艺车间;电容电阻生产的丝印、流延车间;光导纤维的拉丝、光盘制造车间等等。
一、什么是电子制造业的无尘车间?
这类用于生产精密电子产品的无尘车间,共同之处是将一定空间范围内的空气尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内,而专门设计建造的生产车间。即是具有无论外在空气条件如何变化,其室内环境均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特点。
根据应用领域和产品的不同,无尘车间也有设计方案上的区别,因此,电子制造业的无尘车间设计,也是一项综合的通风净化技术。只有充分了解电子制造业的各车间功能、生产工艺特点等,经合理优化的设计,才能创造出符合行业发展要求的无尘洁净环境,使得电子制造业的生产效率大大提高。
二、电子制造业无尘车间有什么技术特点?
电子无尘车间涵括了多个等级洁净室的应用,其中千级(粒径≥0.5UM尘粒,不大于35200颗/立方米)和万级(粒径≥0.5UM尘粒,不大于352000颗/立方米)无尘洁净车间在各个工艺环节使用占比较多。车间环境参数中的尘埃粒子数、温度、湿度、压差、设备排风、新风量严格按照洁净规范控制, 照明、洁净室截面风速可按用户实际需求或洁净规范受控。另外,电子厂房对静电防护要求极其严格,因此对无尘车间的湿度控制指标尤甚,过于干燥车间内部极易产生静电,存在电子元件的损坏风险,而湿度不稳定的环境也会缩短电子产品的车间寿命。一般来说,电子无尘车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间,可有效地消除静电,并使车间人员活动感觉舒适。
三、概括来说,电子无尘车间有以下技术指标:
1. 尘埃粒子数控制范围:
洁净度级别 尘粒最大允许数/立方米
A级:静态→≥0.5μm→3520;静态→≥5.0μm→20
B级:静态→≥0.5μm→3520;静态→≥5.0μm→29
C级:静态→≥0.5μm→352000;静态→≥5.0μm→2900
D级:静态→≥0.5μm→3520000;静态→≥5.0μm→290
2、车间内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
噪声检测仪器推荐:噪声仪/声级计
3、车间垂直流满布比不应小于60%,水平单向流不应小于40%。
4、无尘车间内与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
压差检测仪器推荐:压差仪
5、车间室内的新鲜空气量应取下列二项中的至大值:
(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
7、车间的送风量应取下面三项至大值:保证电子无尘车间空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子无尘车间的送风量;向无尘车间内供给的新鲜空气量。
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