电子制造业的无尘车间有哪些特点与技术指标？

电子制造业涵盖了电子设备（计算机、电视、通讯设备、电子控制、电子仪器等）、电子元件（电阻、电容、电感器、印刷线路板等）、电气器件（接插元件、电子管、晶体管、集成电路等）以及其专用原材料（高频磁性材料、高频绝缘材料、半导体材料等）的生产。这些生产环节对环境洁净度有不同程度的要求，从洁净度100级、1000级到万级、十万级的电子无尘车间都有广泛应用。

主要控制粒径0.1-0.5μm的尘埃及细菌污染物，例如：

● 线路板PCB生产的照相、制版、SMT、干膜车间；

● 芯片生产的蚀刻、离子注入、CMP车间；

● 封装企业的划片、键合车间；

● 电子仪器微电子的装配车间；

● 半导体材料生产的拉单晶、清洗、外延车间；

● 液晶显示器生产的陈列板、成盒、STN-LCD车间；

● 锂电池生产的干燥工艺车间；

● 电容电阻生产的丝印、流延车间；

● 光导纤维的拉丝、光盘制造车间等。

一、什么是电子制造业的无尘车间？

电子制造业的无尘车间是一种专门设计建造的生产车间，其核心功能是将一定空间范围内的空气尘埃粒子、有害气体、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与分布、噪音振动及照明、静电等控制在某一特定需求范围内。无论外在空气条件如何变化，其室内环境均能维持预先设定的洁净度、温湿度及压力等性能特点。

无尘车间的设计需要综合考虑不同应用领域和产品的工艺特点。因此，电子制造业的无尘车间设计是一项复杂的通风净化技术。只有充分了解各车间的功能和生产工艺特点，并进行合理优化设计，才能创造出符合行业发展要求的无尘洁净环境，从而显著提高电子制造业的生产效率。

二、电子制造业无尘车间的技术特点

电子无尘车间涵盖多个洁净等级的应用，其中千级（粒径≥0.5μm尘粒，不大于35200颗/立方米）和万级（粒径≥0.5μm尘粒，不大于352000颗/立方米）无尘车间在各个工艺环节中使用较为广泛。车间环境参数中的尘埃粒子数、温度、湿度、压差、设备排风、新风量等严格按照洁净规范控制，照明和洁净室截面风速可根据用户实际需求或洁净规范进行调整。

此外，电子厂房对静电防护要求极高，因此对无尘车间的湿度控制尤为重要。过于干燥的环境容易产生静电，从而损坏电子元件；而湿度不稳定的环境也会缩短电子产品的使用寿命。一般来说，电子无尘车间的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50%-60%之间，这既能有效消除静电，又能使车间人员感觉舒适。

三、电子无尘车间的技术指标

1. 尘埃粒子数控制范围

2. 噪声控制

车间内的噪声级（空态）不应大于65dB(A)。

推荐检测仪器：噪声仪/声级计

3. 气流分布

垂直流满布比不应小于60%；

水平单向流满布比不应小于40%。

4. 静压差

无尘车间内与室外的静压差不应小于10Pa；

不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

推荐检测仪器：压差仪

5. 新风量

车间室内的新鲜空气量应取以下两项中的最大值：

(1) 补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；

(2) 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

6. 送风量

车间的送风量应取以下三项中的最大值：

(1) 保证电子无尘车间空气洁净度等级的送风量；

(2) 根据热、湿负荷计算确定的送风量；

(3) 向无尘车间内供给的新鲜空气量。